공장이나 연구소에 설치하는 먼지 없는 작업장 ‘클린룸’ [지식용어]

[시선뉴스 조재휘 / 디자인 최지민] 반도체 제조업 노동자의 백혈병 발생 위험이 일반 노동자의 1.55배에 달하는 것으로 조사됐다. 고용노동부 산하 안전보건공단은 22일 이 같은 내용을 포함한 '반도체 제조업 근로자 역학조사 결과'를 발표했다.

특히 반도체 생산라인인 '클린룸'에서 작업하는 엔지니어와 오퍼레이터 등의 혈액암 발생과 사망 비율이 높은 것으로 나타났다.

‘클린룸’은 공장이나 연구소에 설치하는 먼지 없는 작업장으로 청정실 또는 무균실이라고도 한다. 공기 중 입자들의 집중이 제어되도록 지어졌으며 먼지의 발생, 유입, 유보가 최소화되게 되어 있다. 여기서 입자는 먼지뿐만 아니라 세균, 바이러스, 금속 가루, 사람 몸에서 나오는 피부 세포 등 공기 중에 떠다닐 만한 모든 입자를 이르는 것이다.

그중에서 0.1㎛~10㎛ 수준으로 쪼개진 입자들은 공기 중에 부유하는 것이 가능하고, 특히 0.5㎛ 이하의 입자들은 중력의 힘으로는 제대로 침강하지 않으므로 이러한 입자들이 문제가 된다면 청정상태를 유지하기 위해 반드시 클린룸을 설치해야 한다.

2차 세계 대전 이후 많은 공산품이 쏟아지고 생산성에 관심이 높아지는 가운데, 많은 불량 혹은 고장의 원인으로 입자가 지목되었다. 그래서 특히 세균의 발견과 반도체의 생산에서 클린룸의 중요성은 매우 높아지게 되었다.

1m³당 일반적인 입자는 35,000,000개로, 이러한 입자들이 부유하는 곳에서의 생산은 피하는 것이 필수가 되었다. 특히 반도체의 경우 공정이 더욱 미세해짐에 따라 이러한 조치는 더욱 필요해졌다. 특히 노광(Photo) 공정에서 이러한 입자는 노광을 방해하는 주요 입자로 지목되었고, 극도의 청정도를 요구하게 된다.

보통 클린룸의 청정도를 구분할 때는 Class라는 단위를 쓴다. 일반적으로 우리나라에서 이르는 Class의기준은 미국의 FED STD 209E 기준으로 1ft³당 0.5㎛ 이상의 입자의 총합을 기준으로 하고 있다.

이번 공단이 실시한 역학조사에서 "혈액암 발생에 기여한 특정한 원인을 확인하지는 못했으나 여러 사항을 종합할 때 작업환경이 발병에 영향을 미쳤을 것으로 보인다"고 추정했다. 클린룸에서 작업하는 작업자들의 혈액암 발생 비율이 높았으며 이들 중에서도 20∼24세 여성 오퍼레이터의 혈액암 발생 비율이 높았다.

이렇게 여성 노동자의 혈액암 발생 비율이 높은 정확한 이유는 밝혀지지 않았지만, 클린룸 작업자 중에 여성이 많은 점도 무관하지 않을 수 있다고 공단은 보고 있다.

아직 반도체 작업환경과 혈액암의 인과관계가 명확하게 규명되지 않은 상황에서 이번 역학 조사의 결과는 앞으로 반도체 노동자의 산업재해 인정 등에도 영향을 줄 수 있을 것으로 전문가들은 보고 있다.

작업환경이 암의 영향을 줄 것으로 추정하고 상황에서 이번 조사를 계기로 국내 반도체 제조업의 암 발생 위험을 관리하고 능동적인 예방 정책을 수립하는 데 도움이 되길 기대해본다.